半导体设备管道

Semiconductor Equipment Piping

  • SPOOL LINE

    半导体、FPD、LED、SOLAR CELL制造工程中使用的气体处理设施SPOOL LINE组装及制作​

  • GAS LINE & PANEL

    用于分配一定压力和量的气体分配装置（VMB、VMP）或输送至主设备的安全供气系统。该系统支持紧急情况下自动切断及排气，并可根据客户需求设计和制造安全供气管线及面板。​

  • 内部管道

    为确保稳定的品质与客户满意度，积累了专业技术与经验。可根据需求设计和制造SCRUBBER装置的内配管，以及毒性气体配管、腐蚀性气体配管、惰性气体配管等，并进行供货。