供气系统
GAS Supply System
GC (Gas Cabinet)
半导体工艺中使用的设备，用于稳定供应高压有毒气体。该设备依据SEMI标准和CE-MARK等安全法规制造，具有气体泄漏和压力控制功能。配备多种安全装置，并支持通过PLC控制的自动运行。
| Items | Specifications |
|---|---|
| Dimension | 900(W) x 660(D) x 2030(H) |
| Power | 208 VAC, 15A, 1 Phase |
| Supply Line | 1~2 Stick |
| Change Concept | PN2 Purge |
| Weight detection | Weight Scale |
| Cylinder volume | Below 54L Cylinder |
| Flow Rate | 30SLPM (Max.Flow Rate@N2 Gas) |
| Supply pressure | 0.1~0.9MPa |
LDS (Liquid Delivery System)
用于半导体、显示器、太阳能等高纯度液体前驱体（Liquid Precursor）的稳定供应的设备。该设备能够检测和处理液体泄漏及气体，以确保紧急情况下的安全处理。配备多种安全装置，并支持通过PLC控制实现自动运行。
| Items | Specifications |
|---|---|
| Dimension | 650(W) x 846(D) x 2000(H) |
| Power | 208 VAC, 10A, 1 Phase |
| Supply Line | 2~4 Stick |
| Change Concept | PN2 Purge |
| Weight detection | Weight Scale, Ultrasonic Sensor |
| Cylinder volume | Recycle Canistger(2~38L), Process Canister(14L) |
ARS (Auto Refill System)
这是为半导体、Display、Solar等使用超高纯度Liquid Precursor的工程提供稳定供应的装置,可以感知Liquid泄漏,在紧急情况下可以安全应对,安装了各种安全装置,通过PLC控制可以自动运行的设备。
| Items | Specifications |
|---|---|
| Dimension | 900(W) x 710(D) x 2140(H) |
| Power | 208 VAC, 15A, 1 Phase |
| Supply Line | 4 Stick |
| Change Concept | PN2 & Solvent Purge |
| Weight detection | Weight Scale, Ultrasonic Sensor |
| Cylinder volume | Recycle Canistger(2~38L) Process Canister(14L) Solvent Canister(2~38L) Waste Canister(2~38L) |
Vapor System
这是将半导体工程中使用的高纯度Liquid Precursor进行Vapor,使其能够稳定使用在Reaction Chamber上的控制设备,而且可以感知Liquid泄漏及气体,在紧急情况下设置了可以安全应对的各种安全装置,是可以通过PLC控制自动运转的设备。
| Items | Specifications |
|---|---|
| Dimension | 900(W) x 630(D) x 2140(H) |
| Power | 208 VAC, 10A, 1 Phase |
| Supply Line | 2~3 Stick |
| Weight detection | Weight Scale, Ultrasonic Sensor |
| Canister volume | Process Canister(10L) Waste Canister(19L) |