반도체 제조 공정에서 사용하는 높은 고압의 충전된 독성, 부식성, 가연성, 불활성가스를 안전하면서도 일정한 압력 및 일정량으로 MAIN 설비까지 공급하여 주며, Gas의 폭발사고시 확산을 방지하고 비상시 Gas를 자동으로 차단/배기 되도록 제작된 장비로 SEMI 표준, CE-MARK등의 안전 규격에 준하여 제작되었습니다.

VMB

가스를 밸브로 분기 , 가스가 필요한 각 반도체 생산 설비 별 필요한 압력으로 조정 분배 비상시
자동 차단 및 배기 되도록 안전장치가 구성된 가스 공급장치

시스템사양
- 적용 유체: 특정고압 Gas (독성, 부식성, 가연성, 불활성 가스)
- 제어방식: 공압 벨브를 이용한 유체 흐름 제어
- 공급 유량: Customized
- 공급 압력: Customized