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2차 배관 (Hook-up)

반도체 장비 배관 시공

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반도체 장비 내부 배관 설계, 제조, 시공

반도체, FPD, LED, Solar Cell 제조 공정에 사용되는 위험성이 높은 고압의 충전된 Specialty Gas Cylinder를 안전하게 보관하고, 일정 압력 및 일정량의 Gas를 분배장치(VMB, VMP)나 Main 장비까지 공급하여 주며 비상시 자동 차단, 배기되도록 구성된 Gas의 안전공급장비를 말합니다.

가스 공급 장치 설계 제작

장비 내부 배관 시공

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